Плазма тазартқыш құрылымы

Плазма тазалағыштың құрылымы үш негізгі компоненттен тұрады: басқару блогы, вакуумдық камера және вакуумдық сорғы. Осы үш компонентті талқылайық:
1. Басқару блогы
Қытайда қолданылатын плазмалық тазартқыштардың, соның ішінде импорттық құрылғылардың төрт негізгі түрі бар басқару блоктары бар: жартылай автоматты, толық автоматты, ДК-басқарылатын және СКД сенсорлы экраны.
Басқару блогы екі негізгі бөлікке бөлінеді:
1) Қуат көзі: қуат көзінің үш негізгі жиілігі бар: 40 кГц, 13,56 МГц және 2,45 ГГц. 13,56 МГц қуат көзі қуат адаптерін қажет етеді.
2) Жүйені басқару блогы: үш түрі бар: түймені басу{1}}басқару (жартылай автоматты және толық автоматты), компьютерді басқару және PLC басқару (LCD сенсорлық экран).
2. Вакуумдық камера:
Вакуумдық камералар негізінен екі материалдан жасалған:
1) Тот баспайтын болаттан жасалған вакуумдық камера.
2) Кварц камерасы.
3. Вакуумдық сорғы:
Вакуумдық сорғылар екі түрге бөлінеді:
1) Құрғақ сорғы.
2) Май сорғы.