Плазма тазартқыш пайдаланушының сақтық шаралары

1. Жабдықты орнату және қоршаған ортаға қойылатын талаптар

Плазма тазалағышты ылғалды және шаңды жерлерге жол бермей, құрғақ, жақсы желдетілетін-ортаға орнату керек. Орнату орнында жеткілікті жылу таралуын қамтамасыз етіңіз және құрылғының айналасында кемінде 50 см бос орын қалдырыңыз. Кернеудің шамадан тыс ауытқуынан зақымдануды болдырмау үшін қуат көзі тұрақты болуы және құрылғының техникалық сипаттамаларына сай болуы керек. Одан басқа, оператордың қауіпсіздігі мен дұрыс жұмыс істеуін қамтамасыз ету үшін құрылғының жерге дұрыс қосылғанына көз жеткізіңіз.

2. -Операция алдындағы дайындық

Плазма тазартқышты әр қолданар алдында мұқият тексеруді орындаңыз. Құбырдың тығыз жалғанғанын және -ағып тұрғанын тексеріңіз. Реакция камерасының таза екенін және кез келген қоспаларды немесе қалдықтарды дереу жою керектігін тексеріңіз. Сонымен қатар, газдың тазалығы мен ағынының жылдамдығы жабдықтың талаптарына сай болуын қамтамасыз ете отырып, газ жеткізу жүйесі тазалау процесінің талаптарына сәйкес дұрыс таңдалуы және орнатылуы керек. Сонымен қатар, операторлар құрылғының пайдаланушы интерфейсімен және әртүрлі функция түймелерімен таныс болуы және негізгі жұмыс процедураларын түсінуі керек.

3. Жұмыс кезінде ескертілетін негізгі нүктелер

Жабдықты іске қосқан кезде, пайдалану процедураларын қадам бойынша орындаңыз. Алдымен қуатты қосыңыз, содан кейін вакуумдық сорғыны іске қосыңыз және реакция камерасын белгіленген вакуум деңгейіне дейін эвакуациялаңыз. Содан кейін тазалау процесінің талаптарына сәйкес газдың тиісті мөлшерін енгізіңіз және қуат пен уақыт сияқты сәйкес плазма параметрлерін орнатыңыз. Жұмыс кезінде оператор плазманың түзілуін және барлық параметрлердің қалыпты екендігін бақылай отырып, жабдықтың жұмыс күйін мұқият бақылауы керек. Тұрақсыз плазма немесе әдеттен тыс шу сияқты қандай да бір ауытқулар байқалса, жабдықты дереу тоқтатып, түзету керек.

4. Техникалық қызмет көрсету және күту

Плазма тазалау машинасына тұрақты техникалық қызмет көрсету ұзақ мерзімді тұрақты жұмысты қамтамасыз ету үшін өте маңызды{0}}. Кір мен шөгінділерді реакция камерасынан жүйелі түрде тазалау керек. Арнайы тазалағыш құралдар мен құралдарды пайдалануға болады, бірақ ішкі бөліктерге зақым келтірмеу үшін абай болу керек. Сондай-ақ, вакуумдық сорғы және газ жеткізу жүйесі сияқты негізгі құрамдастардың жұмысын жүйелі түрде тексеріңіз. Кез келген тозу немесе істен шығу белгілері дереу ауыстырылуы немесе жөнделуі керек. Қауіпсіз қосылымдарды қамтамасыз ету және қысқа тұйықталу сияқты қауіпсіздік қауіптерін болдырмау үшін жабдықтың электр жүйесі де жүйелі түрде тексерілуі керек.

5. Қауіпсіздік шаралары

Плазма тазалау машиналары жұмыс кезінде электромагниттік сәулелену мен плазманы тудырады, сондықтан операторлар тиісті қауіпсіздік шараларын қабылдауы керек. Операторлар плазмадан көзге зақым келтірмеу үшін тиісті қорғаныш көзілдірік киюі керек, ал жабдықтың ыстық бөліктеріне тиіп кетпеу үшін қорғаныс қолғаптары мен жұмыс киімдерін кию керек. Одан басқа, ықтимал қауіпті болдырмау үшін жабдық жұмыс істеп тұрған кезде операторларға денесінің кез келген бөлігін реакция камерасына салуға қатаң тыйым салынады. Одан басқа, операторлар рұқсат етілмеген персоналды ескерту үшін жабдықтың айналасында анық қауіпсіздік ескерту белгілерінің болуын қамтамасыз етуі керек.