Плазмалық сызу машинасының құрылымы

ICP жабдығы негізінен төрт бөліктен тұрады:-алдын ала вакуумдық камера, ою камерасы, газбен жабдықтау жүйесі және вакуумдық жүйе.

(1) Алдын ала-вакуумдық камера

Алдын ала вакуумдық камераның функциясы{0}}ою камерасының белгіленген вакуум деңгейінде сақталуын, сыртқы ортаның (шаң, су буы сияқты) әсер етпеуін және таза бөлмеден қауіпті газдарды оқшаулауын қамтамасыз ету болып табылады. Ол қақпақтан, манипулятордан, беріліс механизмінен, оқшаулағыш есіктен және т.б.

(2) Оңалту камерасы

Операция камерасы ICP ою жабдығының негізгі құрылымы болып табылады. Ол тегістеу жылдамдығына, оюдың тіктігіне және кедір-бұдырлығына тікелей әсер етеді. Офорт камерасының негізгі компоненттері: жоғарғы электрод, ICP радиожиілік қондырғысы, РЖ радиожиілік қондырғысы, төменгі электродтық жүйе, температураны реттеу жүйесі және т.б.

(3) Газбен жабдықтау жүйесі

Газбен жабдықтау жүйесі әр түрлі газдарды өңдеу камерасына жеткізу және қысым реттегіші (ДК) және массалық ағынды реттегіш (MFC) арқылы газ ағынының жылдамдығы мен ағынын дәл бақылау болып табылады. Газбен жабдықтау жүйесі газ көзі бөтелкесінен, газ жеткізу құбырынан, басқару жүйесінен, араластырғыш қондырғыдан және т.б.

(4) Вакуум жүйесі
Екі вакуум жүйесі бар, біреуі алдын ала вакуумдық камераға, екіншісі ою камерасына арналған. Алдын ала{2}}вакуумдық камера механикалық сорғымен эвакуацияланады. Алдын ала вакуумдық камерадағы вакуум деңгейі белгіленген мәнге жеткенде ғана, вафлиді тасымалдау үшін оқшаулау есігін ашуға болады. Операция камерасындағы вакуумды механикалық сорғы және молекулалық сорғы қамтамасыз етеді. Озарту камерасындағы реакция нәтижесінде пайда болған газдар да вакуумдық жүйе арқылы эвакуацияланады.