Плазмалық тазартқыштардың арнайы қолданбалары

Плазманы тазарту/ою машиналары электр өрісін жасау үшін тығыздалған контейнерге екі электродты қою арқылы плазманы жасайды. Вакуумдық сорғы белгілі бір вакуум деңгейін ұстап тұру үшін қолданылады. Газ барған сайын сирек кездесетіндіктен, молекулалар арасындағы қашықтық пен молекулалардың немесе иондардың еркін қозғалысы да артады. Электр өрісінің әсерінен бұл иондар соқтығысып, плазманы құрайды. Бұл иондар жоғары реактивті, барлық дерлік химиялық байланыстарды бұзуға жеткілікті энергиясы бар, кез келген ашық беттерде химиялық реакцияларды тудырады. Әртүрлі газ плазмаларының химиялық қасиеттері әртүрлі. Мысалы, оттегі плазмасы жоғары тотықтырғыш болып табылады, газды өндіру үшін фоторезисті тотықтыруға қабілетті, осылайша тазарту әсеріне жетеді. Коррозиялық газ плазмасының тамаша анизотропиясы бар, ол оюлау талаптарына жауап береді. Плазмалық өңдеу жарқырауды тудырады, сондықтан жарқырау разряды деп аталады.
Плазмалық тазалау механизмі ең алдымен беткі дақтарды кетіру үшін плазмадағы белсенді бөлшектердің «белсенділенуіне» сүйенеді. Реакция механизмі бойынша плазманы тазалау әдетте келесі процесті қамтиды: бейорганикалық газдар плазмалық күйге қозғалады; газ тәрізді заттар қатты бетке адсорбцияланады; адсорбцияланған топтар қатты беттегі молекулалармен әрекеттесіп, өнім молекулаларын түзеді; өнім молекулалары газ фазасына ыдырайды; және реакция қалдықтары бетінен жойылады.

Плазма тазалау технологиясының ең маңызды ерекшелігі - ол металдарды, жартылай өткізгіштерді, оксидтерді және полипропилен, полиэфир, полиимид, поливинилхлорид, эпоксид және тіпті политетрафторэтилен сияқты көптеген полимерлі материалдарды қоса алғанда кез келген субстрат түрін өңдей алады. Ол бүкіл бетті де, нақты аймақтарды да, күрделі құрылымдарды да тазарта алады.