Плазма тазартқыш кіріспе

Плазма, қатты денелер, сұйықтар және газдар сияқты, материяның төртінші күйі ретінде де белгілі. Плазма газды иондау үшін жеткілікті энергияны бергенде пайда болады. Плазманың «белсенді» компоненттеріне иондар, электрондар, реактивті радикалдар, қозғалған нуклидтер (метстастабилді күйлер) және фотондар жатады. Плазмалық бетті өңдеу жүйелері тазарту, өзгерту және фоторезистентті күл сияқты мақсаттарға қол жеткізу үшін үлгі беттерін өңдеу үшін осы белсенді компоненттердің қасиеттерін пайдаланады.