LCD RF плазмалық жабдық

LCD RF плазмалық жабдығы — СКД, OLED және басқа тегіс панельді дисплей материалдарының бетін өңдеуге арналған{0}}өнімділігі жоғары жүйе. Ол тұрақты өңдеу және жоғары өткізу қабілеті бірдей маңызды болып табылатын заманауи өндірістің қатаң талаптарын қанағаттандыруға арналған. Жалпы жүйенің өлшемдері 880 мм × 790 мм × 1710 мм, вакуумдық камераның өлшемі 450 мм × 450 мм × 450 мм. Әрбір электрод пластинасының өлшемі 410 мм × 430 мм және бір циклде субстраттардың бес қабатына дейін бір уақытта өңдеуге болады.

 

Функционалдық тұрғыдан алғанда, жабдық РЖ шығыс қуаты, вакуумдық айдау ұзақтығы, жеке өңдеу сегменттері және газ ағынының жылдамдығы сияқты негізгі технологиялық параметрлерді тікелей реттеуге мүмкіндік беретін пайдаланушыға ыңғайлы HMI{0}} қамтамасыз етеді. Бұл параметрлерді әртүрлі материалдарға немесе технологиялық талаптарға бейімделу үшін жылдам өзгертуге болады, бұл өнеркәсіптік операциялар үшін икемділік пен тұрақтылықты қамтамасыз етеді.

Газ жеткізу жүйесі үш тәуелсіз арнаны қолдайды және азотты (N₂), аргонды (Ar), сутегіні (H₂) және оттегін (O₂) өңдей алады. Ағын өлшегіштер 0–200 мл/мин диапазонында калибрленеді, бақылау дәлдігі ауытқуларды 5%-дан төмен сақтайды. Барлық негізгі пневматикалық құрамдастарды SMC қамтамасыз етеді және камераның тығыздағыштары қиын орталарда ұзақ-тұрақтылықты қамтамасыз ететін берік фтор{5}}резеңке тығыздағыштарға сүйенеді. Плазма 13,56 МГц жиілікте жұмыс істейтін, максималды шығысы 1 кВт болатын, біркелкі өңдеу үшін сенімді энергияның жеткізілуіне кепілдік беретін{8}}өздігінен бейімделетін РЖ қуат көзі арқылы жасалады.

Құрылымдық жағынан, камера тотығу мен коррозияны азайту үшін{0}}тазалығы жоғары 304 тот баспайтын болаттан жасалған. Жүйе вакуумдық тұтастық үшін қос тығыздағыш конструкциясын қолданады, ал камераның артқы жағындағы мыс электрод ұстағыштары көлденең электрод тақталарын бірнеше бұрандалы құлыптар арқылы бекітіп, тұрақтылық пен энергияны тасымалдауды жақсартады. Қосымша бүйірлік тіректер электродтарды одан әрі күшейтеді. Вакуум балансы оңтайландырылды: жылдам босату клапаны 5–10 секунд ішінде қысымды теңестіруге мүмкіндік береді, бос тұру уақытын азайтады және өнімділікті арттырады.

Жұмыс қауіпсіздігін қамтамасыз ету үшін машина ақау дабылы жүйесімен жабдықталған. Ол кез келген қалыптан тыс оқиғаның күнін, уақытын және себебін тіркейді, ал автоматты өшіру камераны да, дайындамаларды да қорғау үшін іске қосылады.

Қолдану тұрғысынан бұл жабдық филип{0}}чиптерді толтыру процестері үшін кеңінен қолданылады. Толтырмас бұрын плазманы тазалау беттің белсендірілуін айтарлықтай жақсартады, ылғалдануды жақсартады және субстрат пен инкапсульант арасындағы адгезияны арттырады. Нәтижесінде, ол орау сапасын жақсартып қана қоймайды, сонымен қатар жетілдірілген дисплей мен жартылай өткізгіш жинақтардың ұзақ мерзімді сенімділігін арттырады.

Ыстық тегтер: lcd rf плазмалық жабдық, Қытай lcd rf плазмалық жабдықтар өндірушілері, зауыт